Skip to main content

Show filters

Hide filters

сглобяване на микроелектромеханични системи

Description

Description

Изгражда микроелектромеханични системи (MEMS), използвайки микроскопи, пинсети или роботи за повдигане и поставяне. Срязват субстрати от полупроводникови пластини и свързва компоненти върху тяхната повърхност чрез техники на заваряване и свързване, например евтектично заваряване и пряко свързване. Свързва проводниците чрез специални методи за проводниково свързване, например свързване чрез термокомпресия и херметично уплътнява системата или устройството чрез механични уплътнителни техники или микрочерупки. Запечатва и капсулира MEMS във вакуум.

Връзки

URI на понятието

Status

released