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Testverfahren für Mikrosysteme

Description

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Methoden zur Prüfung der Qualität, Genauigkeit und Leistung von Mikrosystemen und mikroelektronischen mechanischen Systemen (MEMS) und deren Materialien und Komponenten vor, während und nach der Herstellung der Systeme, z. B. parametrische Tests und Burn-in-Tests.

Alternative Bezeichnung

Prüfverfahren für Mikrosysteme

URL des Konzepts