Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

Hierarchy view

Mikromontage

Description

Description

Das Zusammenbauen von Nano-, Mikro- oder Mesoskala-Systemen und -Komponenten mit Abmessungen zwischen 1 μm und 1 mm. Aufgrund der Notwendigkeit der Genauigkeit eines Mikromaßstabes erfordern Mikromontagen eine zuverlässige Ausrüstung für die visuelle Abstimmung, wie Ionenstrahl-Bildgebungssysteme und stereoelektronische Mikroskope, sowie Präzisionswerkzeuge und -maschinen wie Mikrogreifer. Die Mikrosysteme werden anhand der Techniken Dotierung, dünne Schichten, Radierung, Bonden, Mikrolithografie und Polieren montiert.

URL des Konzepts