Skip to main content

Show filters

Hide filters

mikroelektromehaanikasüsteeme koostama

Description

Description

Mikroelektromehaanikasüsteemide (MEMS) koostamine mikroskoopide, pintsettide või koosterobotitega. Substraatide lõikamine üksikutelt pooljuhtplaatidelt ja komponentide liitmine pooljuhtplaadi pinnale jootmis- ja liitetehnikatega, näiteks eutektilise jootmise ja ränile vahetu liitmise (SFB) abil. Traatide liitmine traatide eriliitmistehnikate abil (nt termiline surveliitmine) ja süsteemi või seadise hermeetiline sulgemine mehaaniliste sulgemistehnikate või mikroümbristega. Mikroelektromehaanikasüsteemide hermetiseerimine ja kapseldamine vaakumis.

Teine nimetus

mikroelektromehaanilisi süsteeme koostama