Skip to main content

Show filters

Hide filters

mikroagregaadid

Description

Description

Nano-, mikro- või mesoskaalas (suuruses 1 µm kuni 1 mm) süsteemide ja komponentide koostamine. Mikroskaalal töötamine nõuab täpsust ja seepärast on mikroagregaatide korral vaja usaldusväärseid visuaaljoondusseadmeid, näiteks ioonivoog-kuvamissüsteeme ja stereoelektroonilisi mikroskoope, samuti täppisvahendeid ja masinaid, näiteks mikrohaaratseid. Mikrosüsteemid koostatakse legeerimise, kelmetehnoloogia, söövitamise, liitmise, mikrolitograafia ja poleerimise abil.