Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

Hierarchy view

MOEM

Description

Description

Mikrooptoelektromehānika (MOEM) apvieno mikroelektroniku, mikrooptiku un mikromehāniku, izstrādājot MEM ierīces ar optiskām funkcijām kā, piemēram, optiskos slēdžus, optiskos šķērssavienojumus un mikrobolometrus.

Alternatīvs apzīmējums

mikrooptoelektromehānika

URI jēdziens