Skip to main content

Show filters

Hide filters

montera mikroelektromekaniska system

Description

Description

Bygga mikroelektromekaniska system (MEMS) med hjälp av mikroskop, en pincett eller monteringsrobotar. Skarva ihop substrat från enskilda brickor (wafers) och fästa komponenter på kiselplattans yta genom lödnings- och limningstekniker, till exempel teutetisk lödning och silikonfusionsbondning (SFB). Förbinda ledningstrådarna med hjälp av särskild trådbindningsteknik, till exempel med termokomprimering, och hermetiskt försluta systemet eller enheten med hjälp av mekaniska förseglingsmetoder eller mikrohöljen. Försegla och kapsla in MEMS i vakuum.

Relationer

Begreppets URI