Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

Hierarchy view

mikrokredsløb

Description

Description

Kredsløb af nanosystemer, mikrosystemer eller mesoskalasystemer og komponenter med en størrelse på mellem 1 µm til 1 mm. På grund af behovet for præcision på en mikroskala kræver mikrokredsløb et pålideligt visuelt indstillingsudstyr såsom ionstråleafbildningssystemer og stereoelektroniske mikroskoper samt præcisionsredskaber og -maskiner, som f.eks. mikrogribere. Mikrosystemerne samles i henhold til teknikker for doping, tyndfilm, ætsning, binding, mikrolitografi og polering.

Begrebets URI