Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

Hierarchy view

мікроелектромеханічні системи

Description

Description

Мікроелектромеханічні системи (МЕМС) — це мініатюрні електромеханічні системи, виготовлені з використанням процесів мікрофабрикації. МЕМС складаються з мікродатчиків, мікроактюаторів, мікроструктур і мікроелектроніки. МЕМС можуть використовуватися в низці пристроїв, як-от голівки струменевих принтерів, цифрові світлові процесори, гіроскопи в смартфонах, акселерометри для подушок безпеки та мініатюрні мікрофони.

Relationships