Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

Hierarchy view

mikrotillverkning

Description

Description

Tillverkning av nano-, mikro- och mesoskalesystem och komponenter med en storlek på mellan 1 µm och 1 mm. Behovet av precision i mikroskala gör att det krävs tillförlitlig utrustning för visuell anpassning, till exempel system med jonstrålar och stereoelektroniska mikroskop, samt precisionsverktyg och -apparater, exempelvis gripanordningar i mikroformat. I tillverkningen av mikrosystem används tekniker för dopning, tunna filmer, etsning, bondning, mikrolitografi och polering.

Begreppets URI