Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

micro-elektromechanische systemen assembleren

Description

Description

Micro-elektromechanische systemen (MEMS) bouwen met behulp van microscopen, pincetten of ‘pick-and-place’-robots. Substraten van enkelvoudige wafers snijden en componenten op het waferoppervlak bevestigen met behulp van soldeer- en bindingstechnieken, zoals eutectisch solderen en siliciumfusiebinding (SFB). De draden verbinden door middel van speciale draadbindingstechnieken zoals thermocompressielassen, en het systeem hermetisch dichten door middel van mechanische afdichtingstechnieken of microafdichtingen. De MEMS vacuüm verzegelen en inkapselen.

Alternatief label

micro-elektromechanische systemen in elkaar zetten

micro-elektromechanische systemen monteren

Verbanden