Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

assemblaġġ tas-sistemi mikroelettromekkaniċi

Description

Description

Ibni sistemi mikroelettromekkaniċi (MEMS) permezz ta’ mikroskopji, pinzetti, jew robots li jaqbdu u jqiegħdu. Qatta’ f’saffi rqaq wejfers waħdanin u komponenti ta’ bonds fuq il-wiċċ tal-wejfer permezz ta’ tekniki tal-issaldjar u tal-irbit, bħal issaldjar ewtetiku u irbit tal-fużjoni tas-siliċju (SFB). Orbot il-wajers permezz ta’ tekniki tal-irbit tal-wajer speċjali bħal irbit tat-termokompressjoni, u ssiġilla ermetikament is-sistema jew l-apparat permezz ta’ tekniki mekkaniċi ta’ siġillar jew qxur mikro. Issiġilla u iġbor fih il-MEMS f’vakwu.

Il-kunċett tal-URI