Skip to main content
There is a temporary issue on this page. Please, try later. We apologise for this inconvenience.

Show filters

Hide filters

Filters

сглобяване на микроелектромеханични системи

Description

Description

Изгражда микроелектромеханични системи (MEMS), използвайки микроскопи, пинсети или роботи за повдигане и поставяне. Срязват субстрати от полупроводникови пластини и свързва компоненти върху тяхната повърхност чрез техники на заваряване и свързване, например евтектично заваряване и пряко свързване. Свързва проводниците чрез специални методи за проводниково свързване, например свързване чрез термокомпресия и херметично уплътнява системата или устройството чрез механични уплътнителни техники или микрочерупки. Запечатва и капсулира MEMS във вакуум.

Връзки

URI на понятието

Status

released